Methode und Apparat für die Detektion von Markierungen, Belichtungsmethode und -Apparat, Produktionsmethode für eine Anordnung und die Anordnung

EP1195796 Art A1 10. April 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1195796
Aktenzeichen: EP00942351
Anmeldetag: 28. Juni 2000
Veröffentlichung: 10. April 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F9/00G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von