Verfahren zur Behandlung einer Isolierschicht mit niedriger Dielektrizitätskonstante
EP1195801
Art B1
29. Januar 2014
Anmelder: IMEC, Applied Materials, Inc., Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1195801
- Aktenzeichen
- EP01870205
- Anmeldetag
- 28. September 2001
- Veröffentlichung
- 29. Januar 2014
- Erteilung
- 29. Januar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/321H01L21/768H01L21/316H01L23/532
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Applied Materials, Inc.
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
744
Patente gesamt
33
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte