Verfahren für das Entfernen von Verunreinigungen von der Oberfläche und dafür Nützliche Zusammensetzungen

EP1196943 Art A1 17. April 2002

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC., Air Products and Chemicals, Inc., ASHLAND INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1196943
Aktenzeichen: EP00936223
Anmeldetag: 23. Mai 2000
Veröffentlichung: 17. April 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Air Products and Chemicals, Inc.
ASHLAND INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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