Oberflächenpassivierung von Dünnen Silizium-Filmen Während und nach Verarbeitungsschritten bei der Sequentiellen Lateralen Kristallisation
EP1196947
Art A1
17. April 2002
Anmelder: The Trustees of Columbia University in the City of New York, THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1196947
- Aktenzeichen
- EP00919501
- Anmeldetag
- 21. März 2000
- Veröffentlichung
- 17. April 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31H01L21/00H01L21/26H01L21/38H01L21/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- The Trustees of Columbia University in the City of New York
THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Columbia University
Private Forschungsuniversität in New York City, gegründet 1754, mit umfangreicher Patentaktivität in Medizin, Biotechnologie und Ingenieurwissenschaften.
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