Säuremischung zur Entfernung von Rückständen auf Halbleitenden Substraten

EP1196949 Art A1 17. April 2002

Anmelder: Micron Technology, Inc., MICRON TECHNOLOGY, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1196949
Aktenzeichen
EP00945418
Anmeldetag
5. Juni 2000
Veröffentlichung
17. April 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3213H01L21/306G03F7/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Micron Technology, Inc.
MICRON TECHNOLOGY, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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