Vorrichtung zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolett- und Weicher Röntgenstrahlung aus einer Gasentladung

EP1197127 Art B1 8. Dezember 2010

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1197127
Aktenzeichen
EP00943945
Anmeldetag
29. Juni 2000
Veröffentlichung
8. Dezember 2010
Erteilung
8. Dezember 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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