Einrichtung zum Halten eines Substrats

EP1197292 Art B1 17. Dezember 2008

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1197292
Aktenzeichen
EP01124458
Anmeldetag
11. Oktober 2001
Veröffentlichung
17. Dezember 2008
Erteilung
17. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B41/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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