Vorrichtung zum Temperaturausgleich für thermisch belastete Körper mit niederer Wärmeleitfähigkeit, insbesondere für Träger reflektierender Schichten oder Substrate in der Optik

EP1197776 Art B1 6. Oktober 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss, Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1197776
Aktenzeichen
EP01118865
Anmeldetag
16. August 2001
Veröffentlichung
6. Oktober 2004
Erteilung
6. Oktober 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss
Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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