Vorrichtung zum Temperaturausgleich für thermisch belastete Körper mit niederer Wärmeleitfähigkeit, insbesondere für Träger reflektierender Schichten oder Substrate in der Optik
EP1197776
Art B1
6. Oktober 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss, Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1197776
- Aktenzeichen
- EP01118865
- Anmeldetag
- 16. August 2001
- Veröffentlichung
- 6. Oktober 2004
- Erteilung
- 6. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/18
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss
Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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