Bei der Oxidativen Abgasbehandlung in der Halbleiterherstellung Verwendbare Vorrichtung zur Behandlung von Abgasströmen

EP1198283 Art A1 24. April 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1198283
Aktenzeichen
EP00930328
Anmeldetag
3. Mai 2000
Veröffentlichung
24. April 2002
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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