Vorrichtung zum Rotieren eines mit Keramischen und Metallischen Substanzen zu Beschichtenden Substrats in einem Prozessraum

EP1198613 Art B1 15. Januar 2003

Anmelder: Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1198613
Aktenzeichen: EP00935126
Anmeldetag: 26. Mai 2000
Veröffentlichung: 15. Januar 2003
Erteilung: 15. Januar 2003
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Karlsruhe

Forschungszentrum Karlsruhe war eine deutsche Großforschungseinrichtung, die 2009 im Karlsruher Institut für Technologie (KIT) aufging. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Mess- und Halbleitertechnik, ergänzt durch Medizin- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2009.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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