Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Metallfilms
EP1199378
Art A1
24. April 2002
Anmelder: Canon Anelva Corporation, PhyzChemix Corporation, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1199378
- Aktenzeichen
- EP01917496
- Anmeldetag
- 26. März 2001
- Veröffentlichung
- 24. April 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/08C23C16/455C23C16/50H01L21/285
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Canon Anelva Corporation
PhyzChemix Corporation
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Heavy Industries
Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.
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Kanzlei
Maucher Jenkins
Freiburg im Breisgau, Deutschland
Maucher Jenkins ist eine anglo-deutsche IP-Kanzlei mit britischen Wurzeln bis 1937, entstanden 2016 durch Zusammenschluss mit dem Freiburger Haus. Präsent in Deutschland, Großbritannien, der Schweiz und China, als Brücke zwischen den Rechtsräumen.
9.246
Patente gesamt
8
Patentanwälte
3
Standorte
Weitere Vertreter
-
Brown, Kenneth Richard
NoneLondon
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München