Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Metallfilms
Anmelder: Canon Anelva Corporation, PhyzChemix Corporation, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1199378
- Aktenzeichen
- EP01917496
- Anmeldetag
- 26. März 2001
- Veröffentlichung
- 24. April 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/08C23C16/455C23C16/50H01L21/285
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Canon Anelva Corporation
PhyzChemix Corporation
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
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