Elektronen-Bestrahlungsvorrichtung und Verfahren

EP1200175 Art A1 2. Mai 2002

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1200175
Aktenzeichen
EP00942411
Anmeldetag
30. Juni 2000
Veröffentlichung
2. Mai 2002
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/00B01D53/60H01J37/32B01D53/34B01D53/50B01D53/74B01D53/76B01D53/78B01D53/79B01J19/08A62D3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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