Cmp-Zusammensetzung enthaltend Silanmodifizierte-Schleifteilchen

EP1200532 Art B1 30. August 2006

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1200532
Aktenzeichen
EP00943380
Anmeldetag
5. Juli 2000
Veröffentlichung
30. August 2006
Erteilung
30. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cabot Microelectronics Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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