Kapazitiver Druckwandler mit Verbessertem Elektrodensitz
EP1200810
Art B1
22. Oktober 2003
Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1200810
- Aktenzeichen
- EP00947349
- Anmeldetag
- 14. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2003
- Erteilung
- 22. Oktober 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/12G01L19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS INSTRUMENTS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Brown, Kenneth Richard
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