Elektronenstrahlsaüle mit Beleuchtung der Photokatode unter Hoher Numerischer Apertur
EP1200978
Art A1
2. Mai 2002
Anmelder: Applied Materials, Inc., Etec Systems, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1200978
- Aktenzeichen
- EP00950810
- Anmeldetag
- 28. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/073G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Etec Systems, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
655
Patente gesamt
33
Fachgebiete
15
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Schwerpunkte