Verfahren zur Entfernung von Metallen und Siliziumoxid während des Gasphasenätzens vom Opferoxid
EP1201603
Art B1
14. April 2004
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1201603
- Aktenzeichen
- EP01124377
- Anmeldetag
- 24. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 14. April 2004
- Erteilung
- 14. April 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Teipel, Susanne, Dr
München, Deutschland
174
Patente gesamt
22
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9
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Schwerpunkte