Waferhaltevorrichtung aus Quarglass und Verfahren zu ihrer Herstellung

EP1202328 Art A3 31. Mai 2006

Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG, SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD., Yamagata Shin-Etsu Quartz Co., Ltd., Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd., Yamagata Shin-Etsu Quartz Co. Ltd. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1202328
Aktenzeichen
EP01125853
Anmeldetag
30. Oktober 2001
Veröffentlichung
31. Mai 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68C23C14/50F27D5/00H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
Yamagata Shin-Etsu Quartz Co., Ltd.
Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd.
Yamagata Shin-Etsu Quartz Co. Ltd.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Heraeus Quarzglas

Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Staudt, Armin Walter Patentanwalt Armin Staudt Hanau, Deutschland
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29
Fachgebiete
8
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Schwerpunkte
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
Zum Anwaltsprofil
Kanzlei
Patentanwalt Armin Staudt Hanau, Deutschland

Sammelte erste Berufsjahre in der Industrie, ab 1990 patentanwaltliche Ausbildung bei einem Hanauer Technologieunternehmen, seit 2004 ausschließlich eigene Kanzlei in Hanau. Berät zu Patenten, Gebrauchsmustern, Marken und Designs mit anwendungsnahem, industriegeprägtem Ansatz.

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