Verfahren und Vorrichtung zum Rückhalten einer Maske

EP1202329 Art A3 12. April 2006

Anmelder: Edwards Vacuum, Inc., BOC Edwards, Inc., THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1202329
Aktenzeichen
EP01308908
Anmeldetag
19. Oktober 2001
Veröffentlichung
12. April 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00G03F7/20C23C14/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Vacuum, Inc.
BOC Edwards, Inc.
THE BOC GROUP, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

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