Suzeptor für Halbleiterherstellungsgeräte

EP1202338 Art B1 17. August 2011

Anmelder: NGK Insulators, Ltd., NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1202338
Aktenzeichen
EP01308981
Anmeldetag
23. Oktober 2001
Veröffentlichung
17. August 2011
Erteilung
17. August 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NGK Insulators, Ltd.
NGK INSULATORS, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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