Verfahren zur Automatisierten Prüfung Merkmalgeometrien von Photomasken

EP1203223 Art A1 8. Mai 2002

Anmelder: NXP B.V., Philips Semiconductor, Inc., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1203223
Aktenzeichen
EP01913061
Anmeldetag
26. Februar 2001
Veröffentlichung
8. Mai 2002
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NXP B.V.
Philips Semiconductor, Inc.
Koninklijke Philips Electronics N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 NXP Semiconductors

Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.

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