Gerät und Verfahren zur Bildeverbesserung durch Räumliche Filterung

EP1203264 Art A1 8. Mai 2002

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Smith, Bruce W. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1203264
Aktenzeichen
EP00946926
Anmeldetag
29. Juni 2000
Veröffentlichung
8. Mai 2002
Rechtsraum
EP
IPC
G03B27/32G03B27/54G03F7/00G03F7/20H01S3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
Smith, Bruce W.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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