Belichtungsverfahren Während des Nachbesserungsverfahrens für eine Verbesserte Resistentfernung

EP1203402 Art A1 8. Mai 2002

Anmelder: Globalfoundries Inc., GlobalFoundries, Inc., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇰🇾

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1203402
Aktenzeichen
EP00917918
Anmeldetag
14. März 2000
Veröffentlichung
8. Mai 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027G03F7/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Globalfoundries Inc.
GlobalFoundries, Inc.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇰🇾 KY
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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