Leistunspulsanordnung mit Hoher Pulsrate und Flüssigkeitskühlung

EP1203427 Art B1 6. Oktober 2004

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1203427
Aktenzeichen: EP00975177
Anmeldetag: 25. Juli 2000
Veröffentlichung: 6. Oktober 2004
Erteilung: 6. Oktober 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/00H01S3/225H03K3/57H03K17/80

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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