Hochfrequenz-Stromquelle zur Erzeugung eines Induktiv Gekoppelten Plasmas

EP1203441 Art A1 8. Mai 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1203441
Aktenzeichen: EP00947241
Anmeldetag: 12. Juli 2000
Veröffentlichung: 8. Mai 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H02M1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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