Organometallkupferkomplex und Herstelung von Kupferdünnfilmen mittels CVD

EP1203833 Art A3 19. März 2003

Anmelder: Ube Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1203833
Aktenzeichen
EP01125483
Anmeldetag
6. November 2001
Veröffentlichung
19. März 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C07F7/18C07F7/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ube Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ube Industries

Ube Industries war ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Ube, tätig in den Bereichen Chemie, Zement und Maschinenbau. Das Unternehmen firmiert seit 2022 als UBE Corporation.

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