Resistzusammensetzung und Mustererzeugungsverfahren
EP1204001
Art B1
11. September 2013
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1204001
- Aktenzeichen
- EP01309168
- Anmeldetag
- 30. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 11. September 2013
- Erteilung
- 11. September 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039G03F7/004C08F232/08C08F212/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Vertreten von
Watson, Robert James
London, Großbritannien
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