EUV-Lithographie-Anlage mit Dünnfilmbeschichtung zum Schutz vor einem lasererzeugten Plasma
Anmelder: University of Central Florida Foundation, Inc., Northrop Grumman Corporation, TRW Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1204002
- Aktenzeichen
- EP01123230
- Anmeldetag
- 2. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 26. März 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- University of Central Florida Foundation, Inc.
Northrop Grumman Corporation
TRW Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Rüstungs- und Luftfahrtkonzern mit Sitz in Virginia, tätig in den Bereichen Verteidigungselektronik, Flugzeugbau, Raumfahrt und Cybersicherheit.
1.414 Patente in unserer Datenbank
Ehemaliger US-amerikanischer Automobilzulieferer und Rüstungskonzern, 2015 von ZF Friedrichshafen übernommen. Patente betreffen Fahrzeugsicherheitssysteme wie Airbags, Bremsen und Lenkungen.
470 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
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Schmidt, Steffen J., Dipl.-Ing
NoneMünchen