Verfahren zur Bildung einer ultradünnen SiO2-Schicht durch N2O-Oxidierung

EP1204135 Art A3 23. März 2005

Anmelder: Texas Instruments Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1204135
Aktenzeichen
EP01000591
Anmeldetag
2. November 2001
Veröffentlichung
23. März 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/28H01L29/51
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Texas Instruments Incorporated
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

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