Verfahren und Vorrichtung zur Kompensation von Abweichungen Kritischer Grössenordnung bei einer Photomaske
EP1204902
Art A1
15. Mai 2002
Anmelder: Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1204902
- Aktenzeichen
- EP01948418
- Anmeldetag
- 15. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 15. Mai 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Koninklijke Philips Electronics N.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Philips
Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.
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Fachgebiete
Vertreten von
Cobben, Louis Marie Hubert
Eindhoven, Niederlande
31
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2
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