Halbleiterscheibepolierverfahren und Vorrichtung

EP1205280 Art B1 3. März 2010

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1205280
Aktenzeichen
EP00981769
Anmeldetag
15. Dezember 2000
Veröffentlichung
3. März 2010
Erteilung
3. März 2010
Rechtsraum
EP
IPC
B24B1/00B24B37/04B24B41/06H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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