Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Keramik, Halbleiterbauteil und Piezoelektrisches Bauteil

EP1205575 Art A1 15. Mai 2002

Anmelder: Seiko Epson Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1205575
Aktenzeichen
EP01917596
Anmeldetag
29. März 2001
Veröffentlichung
15. Mai 2002
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/40C23C14/08C23C14/22H01L21/31H01L21/316H01L27/10H01L41/22C23C16/48H01L41/24C23C16/452
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Seiko Epson Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Epson

Japanisches Unternehmen, das Drucker, Scanner, Projektoren sowie Uhrwerke und Sensortechnik entwickelt und herstellt.

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