Verfahren zur Bodenlosen Abscheidung von Barriereschichten in Metallisierungsanordnungen von Integrierten Schaltungen

EP1206799 Art A1 22. Mai 2002

Anmelder: ASM INTERNATIONAL N.V., IMEC, ASM International N.V., Interuniversitair MicroElektronica Centrum vzw, ASM America, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1206799
Aktenzeichen
EP00955875
Anmeldetag
24. August 2000
Veröffentlichung
22. Mai 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L23/532H01L21/285C23C16/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASM INTERNATIONAL N.V.
IMEC
ASM International N.V.
Interuniversitair MicroElektronica Centrum vzw
ASM America, Inc.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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