Schmalbandiges Eximer-Lash mit Gaszusatz

EP1206819 Art A1 22. Mai 2002

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1206819
Aktenzeichen
EP00945065
Anmeldetag
29. Juni 2000
Veröffentlichung
22. Mai 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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