Chemisch verstärkte, positiv arbeitende Resistzusammensetzung

EP1207423 Art A1 22. Mai 2002

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1207423
Aktenzeichen
EP01126571
Anmeldetag
15. November 2001
Veröffentlichung
22. Mai 2002
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumitomo Chemical Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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