Spindelanordnung für Poliervorrichtung
EP1207981
Art B1
7. Januar 2004
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1207981
- Aktenzeichen
- EP00955424
- Anmeldetag
- 11. August 2000
- Veröffentlichung
- 7. Januar 2004
- Erteilung
- 7. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B49/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Bucks, Teresa Anne
London, Großbritannien
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