Vorrichtung zum Behandeln von Substraten

EP1208586 Art B1 12. September 2007

Anmelder: IMEC, STEAG MicroTech GmbH 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1208586
Aktenzeichen
EP00954498
Anmeldetag
14. Juli 2000
Veröffentlichung
12. September 2007
Erteilung
12. September 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
IMEC
STEAG MicroTech GmbH
Land
🇧🇪 Belgien

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Van Gysel, Stefan Bruxelles, Belgien
12
Patente gesamt
8
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Medizintechnik & Gesundheit Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Verfahrens- & Trenntechnik
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