Vorrichtung zum Behandeln von Substraten
EP1208586
Art B1
12. September 2007
Anmelder: IMEC, STEAG MicroTech GmbH 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1208586
- Aktenzeichen
- EP00954498
- Anmeldetag
- 14. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 12. September 2007
- Erteilung
- 12. September 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
STEAG MicroTech GmbH - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Fachgebiete
Vertreten von
Van Gysel, Stefan
Bruxelles, Belgien
12
Patente gesamt
8
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Pronovem
Pronovem · Liège
-
Wagner, Karl H., Dipl.-Ing
NoneMünchen