Gaszusätze zur Bildung von Polymer-Seitenwänden in Ätzverfahren

EP1208588 Art A1 29. Mai 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1208588
Aktenzeichen: EP00950996
Anmeldetag: 3. August 2000
Veröffentlichung: 29. Mai 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01L21/3213H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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