Verfahren zur Behandlung eines Halbleitersubstrats

EP1208593 Art B1 16. Februar 2011

Anmelder: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1208593
Aktenzeichen
EP00958697
Anmeldetag
17. August 2000
Veröffentlichung
16. Februar 2011
Erteilung
16. Februar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies

S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.

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