Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes
EP1209501
Art B1
23. November 2005
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1209501
- Aktenzeichen
- EP01118867
- Anmeldetag
- 16. August 2001
- Veröffentlichung
- 23. November 2005
- Erteilung
- 23. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/02G03F7/20G02B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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