Verfahren zur dynamischen Manipulation der Position einer Baugruppe in einem optischen System
EP1209502
Art B1
25. August 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1209502
- Aktenzeichen
- EP01126635
- Anmeldetag
- 8. November 2001
- Veröffentlichung
- 25. August 2004
- Erteilung
- 25. August 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/02G02B7/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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