Verfahren zur dynamischen Manipulation der Position einer Baugruppe in einem optischen System

EP1209502 Art B1 25. August 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1209502
Aktenzeichen
EP01126635
Anmeldetag
8. November 2001
Veröffentlichung
25. August 2004
Erteilung
25. August 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/02G02B7/08
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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🇩🇪 Carl Zeiss

Carl Zeiss ist ein deutscher Hersteller von optischen und optoelektronischen Systemen mit Sitz in Oberkochen. Das Patentportfolio konzentriert sich klar auf Optik und Fototechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Medizintechnik und Software für bildgebende Anwendungen. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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