Chemisch Verstärkte Resistzusammensetzung

EP1209525 Art A1 29. Mai 2002

Anmelder: MITSUBISHI RAYON CO., LTD., Mitsubishi Rayon Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1209525
Aktenzeichen: EP00942481
Anmeldetag: 11. Juli 2000
Veröffentlichung: 29. Mai 2002
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039H01L21/027G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MITSUBISHI RAYON CO., LTD.
Mitsubishi Rayon Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Rayon

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Kohlenstofffasern und Kunststoffe, seit 2017 als Mitsubishi Chemical firmierend.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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