Methode, eine organische Silikatschicht abzuscheiden

EP1209728 Art A3 27. Oktober 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1209728
Aktenzeichen
EP01124607
Anmeldetag
15. Oktober 2001
Veröffentlichung
27. Oktober 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/312H01L21/316H01L21/027C23C16/30C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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