Zusammensetzung eines Poliermittels und Verfahren zum Polieren

EP1209731 Art A1 29. Mai 2002

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1209731
Aktenzeichen
EP01309754
Anmeldetag
20. November 2001
Veröffentlichung
29. Mai 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321C09G1/02C09K3/14H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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