Verwendung einer Vernetzten Elastomerenzusammensetzung zur Versiegelung einer Halbleiterherstellungsvorrichtung

EP1211292 Art B1 24. Mai 2006

Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD., Daikin Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1211292
Aktenzeichen: EP00937234
Anmeldetag: 15. Juni 2000
Veröffentlichung: 24. Mai 2006
Erteilung: 24. Mai 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C08L101/00C08K3/36C08K9/00H01L21/205H01L21/302// (C08K9/009:009:029:06)

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Daikin Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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