Gasbetriebene Trägerplatten mit Mechanismen zum Gegenkraft-Ausgleichen
EP1211560
Art A1
5. Juni 2002
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1211560
- Aktenzeichen
- EP01128057
- Anmeldetag
- 26. November 2001
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Meddle, Alan L
München, Deutschland
97
Patente gesamt
25
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Meddle, Alan Leonard
NoneMünchen