Chemisch-Mechanische Polierverfahren eines Substrats

EP1211717 Art B1 13. April 2016

Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd., HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1211717
Aktenzeichen
EP00953466
Anmeldetag
17. August 2000
Veröffentlichung
13. April 2016
Erteilung
13. April 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321H01L21/768C09G1/02C09K3/14C23F3/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Hitachi Chemical Company, Ltd.
HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

2.257 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Jönsson, Hans-Peter, Dr.Dipl.-Chem Köln, Deutschland
54
Patente gesamt
20
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Anorganische Chemie & Werkstoffe Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Medizintechnik & Gesundheit Verfahrens- & Trenntechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff)
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