Poliersuspension für das chemisch-mechanische Polieren von Metall- und Dielektrikastrukturen

EP1211719 Art A1 5. Juni 2002

Anmelder: BAYER AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1211719
Aktenzeichen: EP01127347
Anmeldetag: 21. November 2001
Veröffentlichung: 5. Juni 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321H01L21/304C09G1/02C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BAYER AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Bayer

Deutscher Konzern mit Sitz in Leverkusen, tätig in den Bereichen Pharmazeutika, Consumer Health und Agrarwissenschaften mit Entwicklung von Arzneimitteln, Saatgut und Pflanzenschutzmitteln.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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