Verfahren zum automatischen Überwachen der Herstellung von integrierten Schaltkreisen abhängig von der Anzahl ausgeführter Bearbeitungsschritte, zugehörige Einheiten und zugehöriges Programm
EP1211724
Art A2
5. Juni 2002
Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1211724
- Aktenzeichen
- EP01125065
- Anmeldetag
- 22. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Infineon Technologies AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Infineon Technologies
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kindermann, Peter
Baldham, Deutschland
362
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kindermann, Peter, Dipl.-Ing
NoneGrasbrunn