Band aus einkritallinem Silizium für Mikrospiegel und MEMS auf SOI Material

EP1211726 Art B1 5. November 2003

Anmelder: Xerox Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1211726
Aktenzeichen: EP01127729
Anmeldetag: 21. November 2001
Veröffentlichung: 5. November 2003
Erteilung: 5. November 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/762H01L27/12G02B26/08B81B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Xerox Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Xerox

US-amerikanischer Technologiekonzern, der Drucker, Kopierer, Multifunktionsgeräte sowie Dokumentenmanagement- und Druckdienstleistungen für Unternehmen anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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