Verfahren und Vorrichtung zum Chemisch-Mechanischen Polieren mit einer Zylinderförmigen Polierscheibe
EP1212170
Art B1
22. Oktober 2003
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1212170
- Aktenzeichen
- EP00957588
- Anmeldetag
- 17. August 2000
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2003
- Erteilung
- 22. Oktober 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B49/04B24B49/16B24D13/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
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